FS-ProTM半导体参数分析仪是一款功能全面、配置灵活的半导体器件电学特性分析设备，在一个系统中实现了电流电压（IV）测试、电容电压（CV）测试、脉冲式 IV 测试、高速时域信号采集和低频噪声测试能力，其强大而全面的测试分析能力可极大地加速半导体器件与工艺的研发评估进程。
产品特点
●一体化测试
FS-ProTM集成直流 IV 测试、脉冲式 IV 测试、瞬态时域测试、电容测试和低频噪声 (1/f噪声) 测试能力于单台仪器中。
●超快速
FS-ProTM引入独特的测试加速技术，在保持的同时大幅度提升测试速度，并且支持并行测试，极大提升了测试效率，轻松应对高密度生产测试。
●模块化架构
FS-ProTM支持模块化架构，在保持紧凑机身的同时又可依照需求扩展。
●操作便捷
内置测量控制软件 LabExpressTM拥有直观的用户图形界面，仅需点击几下鼠标就可以完成强大的测试分析功能。版软件还可以支持多种探针台矩阵开关等设备，轻松完成晶圆级数据的自动测试任务，更针对半导体制造提供了完善的解决方案。
应用领域
●MOSFET 与 BJT 晶体管 ●二极管与 PN 结
●器件可靠性测试 ●器件噪声特性分析
●半导体器件特性分析与建模 ●先进工艺节点下的产线测试
● III-V 族化合物 ●光子检测器件
●钙钛矿与太阳能电池 ●LED 与薄膜晶体管
●二维材料 ●非易失性存储器与材料
● MEMS 与传感器 ●分子与纳米器件
产品组件表
半导体参数分析仪主要性能指标
PX600 四通道台式机箱
FS-ProTM 系统台式主机箱 PX600，可搭载 FS380 高 SMU 或FS360 中 SMU，多 4 路通道。31.8cm(W）X 18cm(H) X 35cm(D)的紧凑身材，总重量仅 10kg，集成控制器和 11 寸显示屏，Core i5 低电压 CPU，4G 内存，500G SSD 硬盘，Windows10操作系统，预装 LabExpressTM基础版测试软件。
PX500 控制器和 FS373 四通道模组化机箱
PX500 紧凑型控制器，11.5cm(W）X 18.8cm(H)，配备 Core i5 低电压 CPU，4G 内存，500G SSD 硬盘， Windows 10 操作系统，预装 LabExpressTM基础测试软件，具备 LAN 接口，USB 接口，VGA 接口。FS373 模组化机箱，25.7cm(W）X 18.9cm(H)，可搭载 FS380 高 SMU 或 FS360 中精SMU，单机箱多搭载 4 路 SMU 通道，可根据实际需求继续扩展机箱，每台 PX500 控制器多可连接 4 个机箱。
FS380 高 SMU 四象限操作功能
FS336 宽带外置 LCR 模块 技术指标
●频率范围* 40Hz – 5MHz
●直流电压范围* -40V - 40V
●直流电压分辨率 0.1mV
●直流电压 ±(0.020%+2.5mV)
●交流电压范围 10mV – 5V
●典型输出阻抗 50Ω
●可测电容** 100fF (>100kHz)
●可测电容** 10mF (<100Hz)
